低温真空泵是利用10K（-263℃）低温制冷机作为冷源，通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备，

低温真空泵广泛应用于：

   1）半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程；

   2）光学镜片镀膜；

   3）磁控溅射镀膜生产线；

   4）空间环境模拟；

   5）真空排气台等。

低温真空泵主要特点：

   1）低温真空泵是吸附式真空泵，工作时无需前级泵；

   2）低温真空泵需要再生；

   3）低温真空泵对不同气体具有不同的抽速和抽气容量。

低温真空泵的主要优点：

    1）高极限真空度。基本型可达10^-6Pa真空度，特殊要求时可达10^-7Pa以上；

    2）大抽速。对空气尤其是对水蒸汽具有超高的抽速，其它真空泵不可比拟；

    3）真正洁净。

    4）运行成本低

    5）安全可靠

    6）使用方便

    7）使用寿命长

DZB系列低温泵产品主要规格：

DZB200~DZB550型低温真空泵及参数＞＞

DZB630~DZB800型低温真空泵及参数＞＞

DZB900~DZB1250型低温真空泵及参数＞＞

IG系列是为高端真空装备配备的全自动智能性低温泵，具有如下特点：

  1）具有快速再生功能

  2）具有完全再生功能

  3）自动检测低温泵真空度

  4）内部加热及充氮气全自动再生系统                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    

  5）外置充氮气装置

  6）配置可接尾气处理装置的安全阀

  7）智能的“自适应”技术

- 自动低温热载荷补偿

- 变频电机系统

  8）更低的购置成本

- 每台压缩机可支持更多的泵

- 在产能没有任何改变的情况下更节能

- 变速电机可最大程度地延长泵的使用寿命

  9）可实现本地或远程操作

  10）     配备操作手柄，可实现故障查询及修改参数

IG系型低温真空泵及参数＞＞

Xe15000型低温泵是专为航天环境模拟器抽Xe所配备的低温泵，其主要指标见PDF

X15000氙泵规格书>>