低温真空泵是利用10K(-263℃)低温制冷机作为冷源,通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备,

低温真空泵广泛应用于:

   1)半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程;

   2)光学镜片镀膜;

   3)磁控溅射镀膜生产线;

侧副本

   4)空间环境模拟;

   5)真空排气台等。

低温真空泵主要特点

   1)低温真空泵是吸附式真空泵,工作时无需前级泵;

   2)低温真空泵需要再生;

   3)低温真空泵对不同气体具有不同的抽速和抽气容量。

低温真空泵的主要优点:

    1)高极限真空度。基本型可达10-6Pa真空度,特殊要求时可达10-7Pa以上;

    2)大抽速。对空气尤其是对水蒸汽具有超高的抽速,其它真空泵不可比拟;

    3)真正洁净。

    4)运行成本低

    5)安全可靠

    6)使用方便

    7)使用寿命长


标准型低温真空泵及参数

定制型大口径干式低温真空泵及参数